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西安聚变材料科技有限公司研发的微流道液冷板，通过化学蚀刻在金属板内加工微小流道，利用冷却液在流道中循环流动带走热量，普遍认为微流道内部传热过程所涉及的尺度在100μm~1000μm之间，微流道常用的冷板材料有铜、铝合金，部分特殊要求下也可选用银和硅基材料。
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